电子学报2006，Vol.34Issue(5)：774-777,4.
表面波表征ULSI互连布线双层薄膜机械特性的理论计算
Theoretical Calculation on the Mechanical Characterization of ULSI Two-Layer Interconnect Films by Surface Acoustic Waves
摘要
关键词
超声表面波/low-k薄膜/频散特性/杨氏模量分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
肖夏,姚素英,阮刚..表面波表征ULSI互连布线双层薄膜机械特性的理论计算[J].电子学报,2006,34(5):774-777,4.基金项目
国家自然科学基金(No.60406003) （No.60406003）
教育部留学归国人员科研启动基金 （）
