北京师范大学学报（自然科学版）2000，Vol.36Issue(6)：775,1.
过滤管道作为第二阳极的磁过滤阴极真空弧沉积系统
王广甫 1张荟星 2张孝吉3
作者信息
- 1. 北京师范大学低能核物理研究所，北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室；
- 2. 北京师范大学分析测
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摘要
关键词
阴极真空弧/等离子体沉积/磁过滤管道/第二阳极分类
能源科技引用本文复制引用
王广甫,张荟星,张孝吉..过滤管道作为第二阳极的磁过滤阴极真空弧沉积系统[J].北京师范大学学报（自然科学版）,2000,36(6):775,1.
