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离子注入掺杂锐钛矿TiO2薄膜的光学性能

常丹 陈猛 向霞 居勇峰 祖小涛

强激光与粒子束2009,Vol.21Issue(5):775-778,4.
强激光与粒子束2009,Vol.21Issue(5):775-778,4.

离子注入掺杂锐钛矿TiO2薄膜的光学性能

Optical properties of N-doped anatase TiO2 films prepared by ion implantation

常丹 1陈猛 1向霞 1居勇峰 1祖小涛1

作者信息

  • 1. 电子科技大学,应用物理系,成都,610054
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摘要

关键词

TiO2薄膜/锐钛矿/氮掺杂/离子注入/吸收光谱/射频磁控溅射

分类

化学化工

引用本文复制引用

常丹,陈猛,向霞,居勇峰,祖小涛..离子注入掺杂锐钛矿TiO2薄膜的光学性能[J].强激光与粒子束,2009,21(5):775-778,4.

基金项目

教育部博士点基金资助课题(20050614013) (20050614013)

强激光与粒子束

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-4322

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