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表面预处理对氧化锌薄膜质量的影响

闫小龙 刘大力 石增良 董鑫 高忠民 杜国同

发光学报2005,Vol.26Issue(6):777-780,4.
发光学报2005,Vol.26Issue(6):777-780,4.

表面预处理对氧化锌薄膜质量的影响

Effects of Surface Pretreatment on ZnO Thin Films Quality

闫小龙 1刘大力 1石增良 1董鑫 1高忠民 1杜国同1

作者信息

  • 1. 吉林大学,电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点实验室,吉林,长春,130012
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摘要

关键词

ZnO薄膜/金属有机化学气相沉积/表面预处理

分类

数理科学

引用本文复制引用

闫小龙,刘大力,石增良,董鑫,高忠民,杜国同..表面预处理对氧化锌薄膜质量的影响[J].发光学报,2005,26(6):777-780,4.

基金项目

国家"863"计划资助项目(2001AA311130) (2001AA311130)

发光学报

OA北大核心CSCD

1000-7032

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