半导体学报2002，Vol.23Issue(7)：777-781,5.
新型半导体清洗剂的清洗工艺
New Cleaning Technique of Semiconductor Detergent
摘要
关键词
红外吸收谱/X射线光电子谱/清洗工艺分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
曹宝成,于新好,马洪磊..新型半导体清洗剂的清洗工艺[J].半导体学报,2002,23(7):777-781,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(批准号:60176032) （批准号:60176032）
