四川大学学报（工程科学版）2003，Vol.35Issue(2)：77-79,3.
基体表面状态对直流磁控溅射铬膜附着性的影响
Effect of Substrate Surface Appearance on the Adhesion of Cr Films Deposited by D.C Magnetron Sputtering
摘要
关键词
基体表面状态/直流磁控溅射/铬膜/锆合金/附着性分类
化学化工引用本文复制引用
范洪远,李伟,沈保罗,唐正华,向文欣,应诗浩..基体表面状态对直流磁控溅射铬膜附着性的影响[J].四川大学学报（工程科学版）,2003,35(2):77-79,3.基金项目
武器装备预研基金资助项目(51481080101SC0101) （51481080101SC0101）
