发光学报2004,Vol.25Issue(1):77-80,4.
氢等离子体气氛中退火多孔硅的表面和光荧光特性
Surface and Luminescence Property of Porous Silicon Films Annealed in Hydrogen Plasma
摘要
关键词
多孔硅(PS)/热退火/紫光发射/蓝光发射/原子力显微镜分类
数理科学引用本文复制引用
陈松岩,谢生,何国荣,刘宝林,蔡加法,陈丽荣,黄美纯..氢等离子体气氛中退火多孔硅的表面和光荧光特性[J].发光学报,2004,25(1):77-80,4.基金项目
国家自然科学基金(60006004) (60006004)
福建省自然科学基金(A0110006)资助项目 (A0110006)