现代制造工程Issue(1)：77-80,4.
摆式抛光机的运动摩擦学分析
Analysis on kinematical tribology of pendulum polishing machine
摘要
关键词
化学机械抛光/抛光运动/摩擦长度/材料去除率分类
化学化工引用本文复制引用
王武刚,吕玉山..摆式抛光机的运动摩擦学分析[J].现代制造工程,2009,(1):77-80,4.基金项目
沈阳市自然科学基金资助项目(1033064-1-03) （1033064-1-03）
沈阳市自然科学基金资助项目(1033064-1-03) （1033064-1-03）
