四川大学学报（工程科学版）2004，Vol.36Issue(6)：77-81,5.
等离子束辅助沉积制备ZnO薄膜的特性研究
Properties Studies of ZnO Thin Films Prepared by Plasma Beam Assisted Deposition
甄万宝 1朱世富 1赵北君 1宋志棠 2封松林2
作者信息
- 1. 四川大学,材料科学与工程学院,四川,成都,610064
- 2. 中科院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050
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摘要
关键词
等离子束辅助沉积/光致发光/ZnO薄膜分类
数理科学引用本文复制引用
甄万宝,朱世富,赵北君,宋志棠,封松林..等离子束辅助沉积制备ZnO薄膜的特性研究[J].四川大学学报（工程科学版）,2004,36(6):77-81,5.
