亚微米自对准硅化钛CMOS工艺OA北大核心CSCD

作者：余山;章定康;黄敞

作者单位：

分类：信息技术与安全科学

中文关键词：集成电路硅化钛CMOS工艺亚微米

刊名：《电子学报》 1994 (11)

页码/页数：78,1

基金：国家重点实验室项目资助