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不同耦合间隙对大直径SiC晶体生长感应加热系统的影响

张群社 陈治明 李留臣 蒲红斌 封先锋 陈曦

人工晶体学报2006,Vol.35Issue(4):781-784,4.
人工晶体学报2006,Vol.35Issue(4):781-784,4.

不同耦合间隙对大直径SiC晶体生长感应加热系统的影响

Effect of Different Coupling Widths on Induction Heating in the Large Size SiC Growth System

张群社 1陈治明 1李留臣 1蒲红斌 1封先锋 1陈曦1

作者信息

  • 1. 西安理工大学自动化与信息工程学院,西安,710048
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摘要

关键词

SiC/PVT法/磁矢势/焦耳热

分类

数理科学

引用本文复制引用

张群社,陈治明,李留臣,蒲红斌,封先锋,陈曦..不同耦合间隙对大直径SiC晶体生长感应加热系统的影响[J].人工晶体学报,2006,35(4):781-784,4.

基金项目

陕西省重大科技创新项目(No.2004K07-G9)和西安理工大学优秀博士学位论文研究基金资助 (No.2004K07-G9)

人工晶体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-985X

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