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一种具有"8悬臂梁-质量块"结构的新型硅微加速度计

王育才 焦继伟 段飞 张颖 宓斌玮 李金鹏 钱清 王跃林

半导体学报2007，Vol.28Issue(5)：783-788,6.
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半导体学报2007，Vol.28Issue(5)：783-788,6.

一种具有"8悬臂梁-质量块"结构的新型硅微加速度计

Design and Fabrication of an Accelerometer with Novel "8-Beams/Mass" Structure

王育才 1焦继伟 2段飞 1张颖 1宓斌玮 2李金鹏 1钱清 1王跃林1

作者信息

  • 1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术联合国家重点实验室,上海,200050
  • 2. 中国科学院研究生院,北京,100049
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摘要

关键词

微加速度计/微机械加工/各向异性腐蚀

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王育才,焦继伟,段飞,张颖,宓斌玮,李金鹏,钱清,王跃林..一种具有"8悬臂梁-质量块"结构的新型硅微加速度计[J].半导体学报,2007,28(5):783-788,6.

基金项目

国家高技术研究发展计划资助项目(批准号:2006AA04Z312) （批准号:2006AA04Z312）

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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