沈阳航空工业学院学报2006，Vol.23Issue(5)：78-80,3.
新型硅微机械谐振器的设计
A novel design of micro-mechanical silicon resonator
梁帆 1彭志萍 1樊尚春1
作者信息
- 1. 北京航空航天大学精密仪器与光电工程学院,北京,100083
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摘要
关键词
谐振器/梳齿/静电激励/有限元分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
梁帆,彭志萍,樊尚春..新型硅微机械谐振器的设计[J].沈阳航空工业学院学报,2006,23(5):78-80,3.
