测控技术2004，Vol.23Issue(3)：7-9,3.
高介电常数介质RF MEMS开关的制作研究
Fabrication of a RF MEMS Switch Using High k Materials as Dielectric Layer
摘要
关键词
射频/微机械/BST/开关分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
雷啸锋,刘泽文,宣云,李志坚,刘理天..高介电常数介质RF MEMS开关的制作研究[J].测控技术,2004,23(3):7-9,3.基金项目
国家973计划资助项目(G1999033105) （G1999033105）
