厦门大学学报（自然科学版）2005，Vol.44Issue(6)：792-795,4.
聚二甲基硅氧烷中真空氧等离子体表面改性与键合
Surface Modification and Bonding of Poly(dimethylsiloxane) by Oxygen Plasma Treatment under Medium Vacuum
摘要
关键词
芯片实验室/PDMS/键合/中真空/氧等离子体分类
化学化工引用本文复制引用
沈德新,张峰,张春权,罗仲梓,陈志扬,周勇亮..聚二甲基硅氧烷中真空氧等离子体表面改性与键合[J].厦门大学学报（自然科学版）,2005,44(6):792-795,4.基金项目
福建省科技重点项目(2003H86)资助 （2003H86）
