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退火条件对β-FeSi2 形成的影响

陈向东 王连卫 林贤 林成鲁 邹世昌

半导体学报Issue(10)：794,1.
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半导体学报Issue(10)：794,1.

退火条件对β-FeSi2 形成的影响

陈向东 1王连卫 1林贤 1林成鲁 1邹世昌1

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陈向东,王连卫,林贤,林成鲁,邹世昌..退火条件对β-FeSi2 形成的影响[J].半导体学报,1995,(10):794,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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