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低温SDB技术研究及硅表面吸附态的影响

焦继伟 陆德仁 王渭源

半导体学报Issue(11)：795,1.
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半导体学报Issue(11)：795,1.

低温SDB技术研究及硅表面吸附态的影响

焦继伟 1陆德仁 1王渭源1

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摘要

关键词

SDB/低温/硅表面吸附态/半导体器件

分类

信息技术与安全科学

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焦继伟,陆德仁,王渭源..低温SDB技术研究及硅表面吸附态的影响[J].半导体学报,1994,(11):795,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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