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基于双热电偶校准ECR-PEMOCVD薄膜生长温度分析研究

郎佳红 秦福文 顾彪

红外技术2007，Vol.29Issue(2)：79-82,4.
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红外技术2007，Vol.29Issue(2)：79-82,4.

基于双热电偶校准ECR-PEMOCVD薄膜生长温度分析研究

Study on Thin Film Growth Temperature by ECR-PEMOCVD Based on the Double Thermocouples

郎佳红 1秦福文 2顾彪2

作者信息

  • 1. 安徽工业大学电气信息学院,安徽,马鞍山,243002
  • 2. 大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室,辽宁,大连,116024
  • 折叠

摘要

关键词

热电偶/ECR-PEMOCVD/蓝宝石/清洗/RHEED

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

郎佳红,秦福文,顾彪..基于双热电偶校准ECR-PEMOCVD薄膜生长温度分析研究[J].红外技术,2007,29(2):79-82,4.

基金项目

安徽省教育厅青年教师资助项目(No.2005jq1073) （No.2005jq1073）

红外技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-8891

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