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光学精密工程
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实用型准分子激光微细加工机研制
实用型准分子激光微细加工机研制
李呈德
万盈
左铁钏
光学精密工程
1999，Vol.7
Issue(1)：79-84,6.
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光学精密工程
1999，Vol.7
Issue(1)
：79-84,6.
实用型准分子激光微细加工机研制
李呈德
1
万盈
1
左铁钏
2
作者信息
1.
北京工业大学国家产学研激光技术中心
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摘要
关键词
准分子激光刻蚀
/
微细加工机
/
激光加工
分类
矿业与冶金
引用本文
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李呈德,万盈,左铁钏..实用型准分子激光微细加工机研制[J].光学精密工程,1999,7(1):79-84,6.
光学精密工程
OA
CSCD
ISSN：
1004-924X
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