沈阳航空工业学院学报2009，Vol.26Issue(1)：79-84,6.
射频感性耦合等离子体中的受迫振荡研究
The study of driven oscillation in inductively coupled plasma
孙景超 1丁振峰2
作者信息
- 1. 沈阳航空工业学院理学院,辽宁,沈阳,110136
- 2. 大连理工大学三束实验室,辽宁,大连,116024
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摘要
关键词
射频感性耦合等离子体/受迫振荡/模式转化分类
数理科学引用本文复制引用
孙景超,丁振峰..射频感性耦合等离子体中的受迫振荡研究[J].沈阳航空工业学院学报,2009,26(1):79-84,6.
