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国外微型机械及微执行器的研究

孙家鼒

光学精密工程Issue(3)：8,1.
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光学精密工程Issue(3)：8,1.

国外微型机械及微执行器的研究

孙家鼒1

作者信息

  • 1. 天津大学精密仪器工程系，天津300072;天津大学精密仪器工程系，天津300072
  • 折叠

摘要

关键词

微型机械/微型机构/微执行器

分类

机械制造

引用本文复制引用

孙家鼒..国外微型机械及微执行器的研究[J].光学精密工程,1995,(3):8,1.

基金项目

国家自然科学基金委基金 （）

光学精密工程

OACSCD

1004-924X

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