材料科学与工程学报2003，Vol.21Issue(6)：802-805,4.
直流负偏压对类金刚石薄膜结构和性能的影响
Effects of DC Negative Bias Voltage on the Structure and Properties of diamond-like carbon Films
摘要
关键词
直流负偏压/类金刚石薄膜/结构/性能分类
通用工业技术引用本文复制引用
李红轩,徐洮,陈建敏,周惠娣,刘惠文..直流负偏压对类金刚石薄膜结构和性能的影响[J].材料科学与工程学报,2003,21(6):802-805,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(59925513)和中科院百人计划资助项目. （59925513）
