机械科学与技术2004,Vol.23Issue(7):805-808,4.
滚珠丝杠螺距误差前馈补偿法提高X-Y工作台定位精度的研究
Research on the Method of Lead-Screw Error Compensation for Improving X-Y Table Position Accuracy
摘要
关键词
X-Y工作台/激光多普勒测量仪/螺距误差/定位精度分类
机械制造引用本文复制引用
袭著燕,路长厚,郭涛,张建川..滚珠丝杠螺距误差前馈补偿法提高X-Y工作台定位精度的研究[J].机械科学与技术,2004,23(7):805-808,4.基金项目
教育部科学技术研究重点项目(104111)资助 (104111)