光学精密工程2009，Vol.17Issue(4)：807-812,6.
微区微纳米压印技术及设备
Design of distributed micro-area micro/nano-imprinting lithographic system
摘要
关键词
微纳米压印/微结构/热压印/控制分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
申溯,周雷,魏国军,陈林森..微区微纳米压印技术及设备[J].光学精密工程,2009,17(4):807-812,6.基金项目
苏州市科技计划科技专项资助项目(No.ZXG0802) （No.ZXG0802）
