集美大学学报（自然科学版）2003，Vol.8Issue(1)：80-82,3.
干涉法测量器件表面特征缺陷的计算机模拟
The Computer Simulation of Testing Surface Defect by Optical Interference Method
林秋宝1
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- 1. 集美大学基础教学部,福建,厦门,361021
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林秋宝..干涉法测量器件表面特征缺陷的计算机模拟[J].集美大学学报（自然科学版）,2003,8(1):80-82,3.
