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掺In半绝缘GaAs衬底上外延GaAs的晶格失配研究

杨保华 王玉田 李成基 何宏家 王占国 林兰英

半导体学报Issue(2):81,1.
半导体学报Issue(2):81,1.

掺In半绝缘GaAs衬底上外延GaAs的晶格失配研究

杨保华 1王玉田 1李成基 1何宏家 1王占国 1林兰英1

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摘要

关键词

GaAs/LPE/晶格失配

分类

信息技术与安全科学

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杨保华,王玉田,李成基,何宏家,王占国,林兰英..掺In半绝缘GaAs衬底上外延GaAs的晶格失配研究[J].半导体学报,1989,(2):81,1.

半导体学报

OACSCD

1674-4926

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