光学精密工程2005，Vol.13Issue(z1)：81-85,5.
折叠弹簧式MEMS水平扭转微镜的设计与分析
Design and analysis of a MEMS horizontal torsion micro mirror with folded springs
摘要
关键词
光开关/微镜/驱动电压/折叠弹簧/有限元分析分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张昱,潘武..折叠弹簧式MEMS水平扭转微镜的设计与分析[J].光学精密工程,2005,13(z1):81-85,5.基金项目
重庆市教委科学技术研究项目(No.020508) （No.020508）
重庆邮电学院博士科研基金项目(No.A2002-36) （No.A2002-36）
