光学精密工程2004，Vol.12Issue(z1)：81-86,6.
微加速度传感器的研究现状及发展趋势
Researching status and developing tendency of microaccelerometer
摘要
关键词
微加速度传感器/MEMS分类
机械制造引用本文复制引用
刘妤,温志渝,张流强,刘玉奎,梁玉前..微加速度传感器的研究现状及发展趋势[J].光学精密工程,2004,12(z1):81-86,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.10176040) （No.10176040）
微米纳米加工技术国家重点实验室基金资助(514850202JW2001) （514850202JW2001）
教育部科学技术研究重大项目(0216) （0216）
光电技术及系统教育部重点实验室访问学者基金资助 （）
