传感技术学报2007，Vol.20Issue(4)：820-823,4.
台面结构硅基法珀型光纤MEMS压力传感器的研究
The Study of the Optical Fiber MEMS Pressure Sensor with a Mesa Structure Diaphragm
摘要
关键词
光电技术/台面结构/F-P干涉/数值模拟/平行度/关键参数分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈绪兴,王鸣,戎华,倪小琦..台面结构硅基法珀型光纤MEMS压力传感器的研究[J].传感技术学报,2007,20(4):820-823,4.基金项目
国家自然科学基金和江苏省高技术研究计划项目资助(BG2003024) （BG2003024）
