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用喇曼光谱表征锗硅应变层超晶格

徐建国 王建宝 盛篪 孙恒慧 郑思定 姚文华

半导体学报Issue(11):822,1.
半导体学报Issue(11):822,1.

用喇曼光谱表征锗硅应变层超晶格

徐建国 1王建宝 1盛篪 1孙恒慧 1郑思定 1姚文华1

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摘要

关键词

喇曼光谱/锗硅/应变层/超晶格/表征

分类

电子信息工程

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徐建国,王建宝,盛篪,孙恒慧,郑思定,姚文华..用喇曼光谱表征锗硅应变层超晶格[J].半导体学报,1990,(11):822,1.

半导体学报

OACSCD

1674-4926

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