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自持金刚石厚膜上沉积N掺杂ZnO薄膜的生长及电学特性

孙剑 白亦真 杨天鹏 孙景昌 杜国同

吉林大学学报（理学版）2007，Vol.45Issue(5)：822-826,5.
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吉林大学学报（理学版）2007，Vol.45Issue(5)：822-826,5.

自持金刚石厚膜上沉积N掺杂ZnO薄膜的生长及电学特性

Growth and Electrical Properties of ZnO Films Deposited on Freestanding Thick Diamond Films

孙剑 1白亦真 2杨天鹏 1孙景昌 2杜国同3

作者信息

  • 1. 大连理工大学,三束材料改性国家重点实验室,辽宁省,大连,116023
  • 2. 大连理工大学,物理与光电工程学院,辽宁省,大连,116023
  • 3. 吉林大学,集成光电子国家重点实验室,电子科学与工程学院,长春,130012
  • 折叠

摘要

关键词

声表面波滤波器/金刚石/ZnO薄膜/金属有机化合物气相沉积

分类

数理科学

引用本文复制引用

孙剑,白亦真,杨天鹏,孙景昌,杜国同..自持金刚石厚膜上沉积N掺杂ZnO薄膜的生长及电学特性[J].吉林大学学报（理学版）,2007,45(5):822-826,5.

基金项目

国家自然科学基金(批准号: 60307002). （批准号: 60307002）

吉林大学学报（理学版）

OACSCDCSTPCD

1671-5489

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