电子学报2002，Vol.30Issue(6)：827-830,4.
空气阻尼对微谐振器品质因子及其传输函数的影响
Influence of Slide Films Damping on Quality Factor and Transfer Function of Laterally-Driven Comb Microresonator
摘要
关键词
微机械谐振器/品质因子/功耗/粘滞阻尼分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
章彬,刘清惓,黄庆安..空气阻尼对微谐振器品质因子及其传输函数的影响[J].电子学报,2002,30(6):827-830,4.基金项目
国家自然科学基金(No.60076028) （No.60076028）
