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退火温度对嵌入Si中的β-FeSi2颗粒发光的影响

李成 赖虹凯 陈松岩

半导体学报2006,Vol.27Issue(1):82-85,4.
半导体学报2006,Vol.27Issue(1):82-85,4.

退火温度对嵌入Si中的β-FeSi2颗粒发光的影响

Influence of Annealing Temperature on Luminescence of β-FeSi2 Particles Embedded in Silicon

李成 1赖虹凯 1陈松岩1

作者信息

  • 1. 厦门大学物理系,半导体光子学研究中心,厦门,361005
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摘要

关键词

β-FeSi2/光致发光/退火

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李成,赖虹凯,陈松岩..退火温度对嵌入Si中的β-FeSi2颗粒发光的影响[J].半导体学报,2006,27(1):82-85,4.

基金项目

福建省青年科技人才创新(批准号:2004J021)和集成光电子学国家重点实验室半导体所开放课题资助项目 (批准号:2004J021)

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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