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与硅平面工艺兼容的p-/p+型多孔硅的发光特性研究

孙鲁 张树霖 张录 关旭东 韩汝琦

半导体学报Issue(11)：829,1.
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半导体学报Issue(11)：829,1.

与硅平面工艺兼容的p-/p+型多孔硅的发光特性研究

孙鲁 1张树霖 1张录 1关旭东 1韩汝琦1

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孙鲁,张树霖,张录,关旭东,韩汝琦..与硅平面工艺兼容的p-/p+型多孔硅的发光特性研究[J].半导体学报,1998,(11):829,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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