原子能科学技术2008，Vol.42Issue(9)：829-832,4.
多台阶光栅结构的溶胶凝胶法制备工艺
Fabrication Process of Multi-step Grating by Chemical Method
摘要
关键词
微结构/凝胶/ZrO2/螯合环/光敏分类
数理科学引用本文复制引用
刘春泽,周斌,徐翔,杜艾,叶君建,吴广明,沈军..多台阶光栅结构的溶胶凝胶法制备工艺[J].原子能科学技术,2008,42(9):829-832,4.基金项目
国家"863"计划资助项目(2007AA804137) （2007AA804137）
教育部军品配套项目 （）
上海科技启明星计划项目(05QMX1454) （05QMX1454）
上海市科委纳米技术专项(0652nm044) （0652nm044）
上海市科委科技攻关计划项目(055211010) （055211010）
