电子器件2007，Vol.30Issue(3)：833-836,4.
一种微电磁驱动的MEMS可调光衰减器
An Electro-Magnetically Driven MEMS Variable Optical Attenuator
摘要
关键词
微机电系统/光衰减器/表面微加工/电磁驱动分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
邵国成,杨昊宇,戴旭涵,赵小林,丁桂甫..一种微电磁驱动的MEMS可调光衰减器[J].电子器件,2007,30(3):833-836,4.基金项目
国家自然基金资助(50405013) （50405013）
