人工晶体学报2004，Vol.33Issue(5)：835-840,6.
紊流模型模拟分析旋转对提拉大直径单晶硅的影响
Numerical Simulation on the Effect of Rotation in a Czochralski Silicon Crystal Growth with a Turbulence Model
摘要
关键词
直拉单晶硅/紊流模型/晶体旋转/坩埚旋转分类
数理科学引用本文复制引用
宇慧平,隋允康,张峰翊,常新安,安国平..紊流模型模拟分析旋转对提拉大直径单晶硅的影响[J].人工晶体学报,2004,33(5):835-840,6.基金项目
北京工业大学青年科技基金(No.JQ0105200372) （No.JQ0105200372）
