强激光与粒子束2009，Vol.21Issue(6)：835-840,6.
光学元件亚表面缺陷的全内反射显微检测
Total internal reflection microscopy:a subsurface defects identification technique in optically transparent components
摘要
关键词
亚表面缺陷/全内反射/偏振/驻波/调焦分类
数理科学引用本文复制引用
邓燕,许乔,柴立群,徐建程,石琦凯,罗晋..光学元件亚表面缺陷的全内反射显微检测[J].强激光与粒子束,2009,21(6):835-840,6.基金项目
中国工程物理研究院预研重大基金项目(2007A08001) （2007A08001）
