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刻蚀腔InGaAsP/InP双异质结激光器的制作与特性

颜学进 张权生 石志文 杜云 祝亚芹 罗丽萍 朱家廉 吴荣汉 王启明

半导体学报Issue(11):836,1.
半导体学报Issue(11):836,1.

刻蚀腔InGaAsP/InP双异质结激光器的制作与特性

颜学进 1张权生 1石志文 1杜云 1祝亚芹 1罗丽萍 1朱家廉 1吴荣汉 1王启明1

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颜学进,张权生,石志文,杜云,祝亚芹,罗丽萍,朱家廉,吴荣汉,王启明..刻蚀腔InGaAsP/InP双异质结激光器的制作与特性[J].半导体学报,1997,(11):836,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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