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刻蚀腔InGaAsP/InP双异质结激光器的制作与特性

颜学进张权生石志文杜云祝亚芹罗丽萍朱家廉吴荣汉王启明

半导体学报Issue(11)：836,1.

颜学进 ¹张权生 ¹石志文 ¹杜云 ¹祝亚芹 ¹罗丽萍 ¹朱家廉 ¹吴荣汉 ¹王启明¹

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颜学进,张权生,石志文,杜云,祝亚芹,罗丽萍,朱家廉,吴荣汉,王启明..刻蚀腔InGaAsP/InP双异质结激光器的制作与特性[J].半导体学报,1997,(11):836,1.

OA北大核心CSCD

ISSN：1674-4926

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