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双异质结双平面掺杂HEMT器件的电荷控制模型

陈震 刘新宇 吴德馨

半导体学报2004,Vol.25Issue(7):836-840,5.
半导体学报2004,Vol.25Issue(7):836-840,5.

双异质结双平面掺杂HEMT器件的电荷控制模型

An Analytical Charge Control Model of Double Planar Doped HEMTs

陈震 1刘新宇 1吴德馨1

作者信息

  • 1. 中国科学院微电子研究所,北京,100029
  • 折叠

摘要

关键词

高电子迁移率晶体管(HEMT)/电荷控制模型/异质结/二维电子气/双面平掺杂

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

陈震,刘新宇,吴德馨..双异质结双平面掺杂HEMT器件的电荷控制模型[J].半导体学报,2004,25(7):836-840,5.

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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