半导体学报2001，Vol.22Issue(7)：837-840,4.
一种微机械光开关的分析和设计
Analysis and Design for a Micro-Mechanical Optical Switch
贾玉斌 1陈良惠 1李玉璋1
作者信息
- 1. 中国科学院半导体研究所国家光电子器件工程研究中心,
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摘要
关键词
微机械/光开关/悬臂梁/阈值电压分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
贾玉斌,陈良惠,李玉璋..一种微机械光开关的分析和设计[J].半导体学报,2001,22(7):837-840,4.
