强激光与粒子束2007，Vol.19Issue(1)：83-85,3.
掺溴非晶碳梯度薄膜的制备与分析
Preparation and XPS study of gradient bromating amorphous hydrogenated carbon film
摘要
关键词
低压等离子体/化学气相沉积/掺溴梯度薄膜/XPS能谱/非晶碳分类
化学化工引用本文复制引用
马兆侠,吴卫东,冯建鸿,程新路,唐永建,杨向东..掺溴非晶碳梯度薄膜的制备与分析[J].强激光与粒子束,2007,19(1):83-85,3.基金项目
中国工程物理研究院基金资助课题(20040215) （20040215）
高温高密度等离子体物理国家重点实验室基金资助课题(51480030103 ZW0802) （51480030103 ZW0802）
