武汉工程大学学报2008，Vol.30Issue(1)：83-86,4.
基片温度对金刚石厚膜生长的影响
Study on the influence of growth temperature on the deposition of diamond thick films by MPCVD
摘要
关键词
化学气相沉积/金刚石厚膜/微波等离子体分类
数理科学引用本文复制引用
熊礼威,汪建华,满卫东,曹菊琴,谢鹏..基片温度对金刚石厚膜生长的影响[J].武汉工程大学学报,2008,30(1):83-86,4.基金项目
湖北省科技攻关计划(2002AA105A02),湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队资助计划项目 （2002AA105A02）
