量子电子学报2005，Vol.22Issue(6)：840-843,4.
超分辨近场结构之纳米光刻技术
Nano-photolithography using super-resolution near-field structure
摘要
关键词
近场光学/超分辨近场结构/纳米光刻/局域表面等离子体效应分类
数理科学引用本文复制引用
王沛,张斗国,唐麟,鲁拥华,焦小瑾,明海..超分辨近场结构之纳米光刻技术[J].量子电子学报,2005,22(6):840-843,4.基金项目
国家自然科学基金(90206002)、国家863(2002AA313030)、安徽省自然科学基金(03046204)资助项目 （90206002）
