强激光与粒子束2003，Vol.15Issue(9)：841-844,4.
电子束、离子辅助和离子束溅射三种工艺对光学薄膜性能的影响
Property comparison of optical thin films prepared by E-beam, ion assisted deposition and ion beam sputtering
摘要
关键词
电子束/离子辅助/离子束溅射/薄膜特性分类
数理科学引用本文复制引用
王英剑,李庆国,范正修..电子束、离子辅助和离子束溅射三种工艺对光学薄膜性能的影响[J].强激光与粒子束,2003,15(9):841-844,4.基金项目
国家863计划项目资助课题 （）
