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半导体学报
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两步退火对 SIMOX 结构形成的影响
两步退火对 SIMOX 结构形成的影响
陈南翔
王忠烈
黄敞
半导体学报
Issue(11)：844,1.
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半导体学报
Issue(11)
：844,1.
两步退火对 SIMOX 结构形成的影响
陈南翔
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王忠烈
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陈南翔,王忠烈,黄敞..两步退火对 SIMOX 结构形成的影响[J].半导体学报,1990,(11):844,1.
半导体学报
OA
CSCD
ISSN：
1674-4926
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