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双固相外延技术及高性能1μm CMOS/SOS器件的研究

张兴石涌泉路泉黄敞

半导体学报Issue(11)：857,1.

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半导体学报Issue(11)：857,1.

双固相外延技术及高性能1μm CMOS/SOS器件的研究

张兴 ¹石涌泉 ¹路泉 ¹黄敞¹

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摘要

关键词

CMOS／SOS器件/双固相外延/NMOSFET

分类

信息技术与安全科学

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张兴,石涌泉,路泉,黄敞..双固相外延技术及高性能1μm CMOS/SOS器件的研究[J].半导体学报,1995,(11):857,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

ISSN：1674-4926

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