双E型加速度传感器硅芯片的优化设计OACSCDCSTPCD
Optimized Design of Dual-E Silicon Ccelerometer Chip
介绍了最新优化设计的双E型加速度传感器硅芯片结构和工艺的实现.通过控制不同敏感硅芯片弹性膜的厚度,即可制得不同量程的双E型敏感硅芯片和加速度传感器.
唐世洪;张克梅;邓永和;谭子尤
吉首大学物理与电子工程系,传感技术实验室,湖南,吉首市,416000吉首大学物理与电子工程系,传感技术实验室,湖南,吉首市,416000吉首大学物理与电子工程系,传感技术实验室,湖南,吉首市,416000吉首大学物理与电子工程系,传感技术实验室,湖南,吉首市,416000
信息技术与安全科学
硅芯片加速度传感器
《传感技术学报》 2003 (1)
85-87,3
专利号:ZL01 2 49378.3
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