传感技术学报2003,Vol.16Issue(1):85-87,3.
双E型加速度传感器硅芯片的优化设计
Optimized Design of Dual-E Silicon Ccelerometer Chip
唐世洪 1张克梅 1邓永和 1谭子尤1
作者信息
- 1. 吉首大学物理与电子工程系,传感技术实验室,湖南,吉首市,416000
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唐世洪,张克梅,邓永和,谭子尤..双E型加速度传感器硅芯片的优化设计[J].传感技术学报,2003,16(1):85-87,3.基金项目
专利号:ZL01 2 49378.3 ()