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各向异性择优取向薄膜的椭偏光谱术理论

刘毅 莫党 张日理 何振辉

中山大学学报（自然科学版）2004，Vol.43Issue(6)：85-88,4.
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中山大学学报（自然科学版）2004，Vol.43Issue(6)：85-88,4.

各向异性择优取向薄膜的椭偏光谱术理论

Spectroscopic Ellipsometry Theory of Anisotropic Thin Films

刘毅 1莫党 2张日理 1何振辉1

作者信息

  • 1. 中山大学光电材料与技术国家重点实验室,广东,广州,510275
  • 2. 深圳大学师范学院,广东,深圳,518060
  • 折叠

摘要

关键词

椭偏光谱/薄膜/各向异性

分类

数理科学

引用本文复制引用

刘毅,莫党,张日理,何振辉..各向异性择优取向薄膜的椭偏光谱术理论[J].中山大学学报（自然科学版）,2004,43(6):85-88,4.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(50372085) （50372085）

广东省自然科学基金资助项目(021696) （021696）

中山大学学报（自然科学版）

OA北大核心CSCDCSTPCD

0529-6579

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