半导体学报2004，Vol.25Issue(7)：858-862,5.
SiON对Si基SiO2 AWG偏振补偿的数值分析
Numerical Analysis for Polarization Compensation of Silica on Silica AWG Using SiON
摘要
关键词
SiON薄膜/Si基SiO2波导/应力/双折射/阵列波导光栅/偏振补偿分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
安俊明,郜定山,李健,李建光,王红杰,胡雄伟..SiON对Si基SiO2 AWG偏振补偿的数值分析[J].半导体学报,2004,25(7):858-862,5.基金项目
国家重点基础研究发展规划(No.G2000036602)和国家自然科学基金(批准号:69889701)资助项目 （No.G2000036602）
